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在实验及生产中,应如何选择管式炉呢?
  • 发布日期:2021-11-04      浏览次数:104
    •   管式炉具有操作简单、保温效果好、控温精度高、温度范围大以及可通气氛等特点,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,应用于高、中、低温CVD工艺,如碳纳米管的研制,晶体硅基板镀膜,金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。管式炉的炉型有很多种,如立式、卧式、单温区、双温区、三温区、五温区、单管、双管等等。

        管式炉的选择:
        1、根据工作温度要求选择:如果工作温度要求小于1200°C,可选择炉管为石英管,加热元件是含钼电阻丝的管式炉;如果工作温度大于1200小于1400,可选择炉管为氧化铝,加热元件是硅碳棒的管式炉;如果工作温度大于1400小于1700,可以选择炉管为氧化铝,加热元件是硅钼棒的管式炉;
        2、根据升温速率要求来选择:如果升温速率要求不高,0-30°C/min,一般的管式炉都可以选择,但如果升温速率要求比较高,大于30°C/min,需要选择具有快速退火功能的管式炉,比如滑动式快速退火炉,RTP快速退火炉等;
        3、根据压力要求来选择,如果正压超过0.03Mpa,需要选择高压管式炉,如果同时对温度要求也比较高,需要选择高温高压管式炉;
        4、根据加热区来选择,如果需要多个温区来进行加热,则选择多温区管式炉,具体温区数可以根据要求来选择;
        5、根据工艺受热要求来选择,比如对特定材料要求受热更均匀,可根据需求来选择旋转管式炉、多工位管式炉等。
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